white_smoove
02-01-2008, 14:48
hallöchen sitze jetzt seit 3 std :confused: an folgender tabelle:
begin{table}[b]
\caption{Übersicht von CVD-Verfahren}
\small
\centering
\begin{tabular}{|c||p{3,5 cm}|p{3,5 cm}|p{3,5 cm}|}
\hline\\
& APCVD & LPCVD & PECVD\\
\hline\hline
Druck [mbar] & $101,3$ &$0,01-10$ & $1-10^{-3}$ \\
\hline
Temperatur [$^{\circ}C$] & 800-1300 & 500-100 & 20-500 \\
\hline
sonstige Merkmale & gezielt aufgeheiztes Substrat & heißes Substrat & geheiztes Substrat\\
Anwendung & Epitaxie von Silizium-Wafern & Abscheidung von Poly-Silizium & Abscheidung von Siliziden($FeSi_{2}, MnSi,..$)\\
& Herstellung & Abscheidung $SiO_{2},Si_{3}N_{4}$ \\
& Polysilizium- Brocken
\end{tabular}
\caption{Übersicht CVD-Verfahren}
\label{tab:ÜbersichtCVD}
\end{table}
ich möchte gerne das der inhalt der ersten zeile (& APCVD & LPCVD & PECVD) centriert dargestellt wird, bekomme das einfach nicht hin..keine anhnung wie das gehn soll..
zudem werden die vertikalen linien nicht durchgezeichnet (zwischen reihe "sonstige merkmale u anwendungen)..vielleicht hat jemand ne lösung parat.. danke
begin{table}[b]
\caption{Übersicht von CVD-Verfahren}
\small
\centering
\begin{tabular}{|c||p{3,5 cm}|p{3,5 cm}|p{3,5 cm}|}
\hline\\
& APCVD & LPCVD & PECVD\\
\hline\hline
Druck [mbar] & $101,3$ &$0,01-10$ & $1-10^{-3}$ \\
\hline
Temperatur [$^{\circ}C$] & 800-1300 & 500-100 & 20-500 \\
\hline
sonstige Merkmale & gezielt aufgeheiztes Substrat & heißes Substrat & geheiztes Substrat\\
Anwendung & Epitaxie von Silizium-Wafern & Abscheidung von Poly-Silizium & Abscheidung von Siliziden($FeSi_{2}, MnSi,..$)\\
& Herstellung & Abscheidung $SiO_{2},Si_{3}N_{4}$ \\
& Polysilizium- Brocken
\end{tabular}
\caption{Übersicht CVD-Verfahren}
\label{tab:ÜbersichtCVD}
\end{table}
ich möchte gerne das der inhalt der ersten zeile (& APCVD & LPCVD & PECVD) centriert dargestellt wird, bekomme das einfach nicht hin..keine anhnung wie das gehn soll..
zudem werden die vertikalen linien nicht durchgezeichnet (zwischen reihe "sonstige merkmale u anwendungen)..vielleicht hat jemand ne lösung parat.. danke